炭化ケイ素(SiC)とは
アルミナは酸化アルミニウムを主成分とし、耐摩耗性、絶縁性に優れています。
比較的安価のため、幅広い用途に、ファインセラミックスの代表として使われています。
用途
- 半導体/FPD/液晶製造装置用部品
- 絶縁フランジ/碍子/スペーサ/ブッシュ
- 絶縁管/チューブ/熱電対用保護管、絶縁管
- 炉芯管/耐火炉材/高純度アルミナルツボ
- バーナー用ノズル
- シャフト/軸受/レール/ガイド/メカニカルシール
- ウェハポリッシングプレート
- ウェハハンドアーム/ウェハフォーク
- 静電チャック/真空チャック